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产品简介：
它是一种多室型溅射装置，可以配备多个处理室（*多3个腔室200E，*多5个腔室200J和*多7个腔室200）
产品特性：
• 可运输Φ200mm板
• 作为处理室的各种模块的阵容
• 介电模块
• 高温成膜模块
• 精密分配模块
• 蚀刻模块
产品应用：
• 电子零件
• 微机电系统
• 动力装置
• 发光二极管
溅射台 SME-200
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溅射台 SME-200
详细信息 产品简介：
它是一种多室型溅射装置，可以配备多个处理室（*多3个腔室200E，*多5个腔室200J和*多7个腔室200） 产品特性： • 可运输Φ200mm板 • 作为处理室的各种模块的阵容 • 介电模块 • 高温成膜模块 • 精密分配模块 • 蚀刻模块 产品应用： • 电子零件 • 微机电系统 • 动力装置 • 发光二极管 |