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青岛泰斯迈仪器设备有限公司

半导体设备、蒸发台、刻蚀机

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离子注入机SOPHI-400
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产 品： 浏览次数：111离子注入机SOPHI-400 
单 价： 面议 
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更新日期： 2021-09-22  有效期至：长期有效
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详细信息
 

离子注入装置SOPHI-400可以支持Max2400KeV的高能量离子注入装置。

特长

·单叶式

·支持稀薄Wafer

·平行光束

用途

·功率器件等薄型基板工艺、IGBT工艺

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