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催化燃烧的工艺流程设计包括三个阶段，分别为预处理、吸附操作、脱附与催化燃烧。
1、预处理
对于有机废气，人们应首先开展水喷淋，去除废气内部的杂尘、可溶性有机物。喷淋后，气体内部具有大量水分和少量粉尘，为避免水分与粉尘影响活性炭吸附床的有效运行，人们需要在处理时利用高效率的过滤器进行过滤。
2、吸附操作
经过预处理的有机废气，在风机的作用下引入吸附床，将其均匀地分布在活性炭表面。依据分子间的范德华力，活性炭会将有机废气吸附在表面，这一过程耗时较少，但时间越长，吸附越彻底。二者之间不会发生较大的化学反应，而有机废气却达到较高的净化效果，经过净化后的洁净废气可以达到环保部门规定的污染物排放标准。此外在风机的作用下，可以达到离地15m高空排放的标准。每套废气净化处理系统含多个级别的吸附床，两套用来吸附，一套用来脱附，设备之间可以实现轮流操作。
3、脱附与催化燃烧
在活性炭吸附到饱和程度后，切换到脱附床。脱附需要外加热量，加热装置安装在催化氧化床的内部，开启后同时预热催化剂。催化氧化床达到设定的温度后，将热空气引入脱附床内部，有机废气在加热的作用下从活性炭表面全部解析出来。