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 Parylene涂层是在室温下在元件上自发形成的，不需要经升温固化过程，不需要对基材施加室温以上的温度和更多的时间来让膜生长。由于这种聚合物是自发的不需要催化剂。促进聚合的催化剂通常是离子或离子化合物，固化后它们会多少残留一些在涂层里。这些残留的物质能参与电荷的迁移，在一定程度上影响涂层的电性能。又由于Parylene涂层是在室温下形成的，因此可以防止主要因室温和固化温度变化不同由热膨胀引起的应力问题。