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工业VOCs有机废气进入UV光氧催化设备内部被破坏、分解、催化氧化成无毒无害无味气体。采用高能C波段紫外线光线照射废气，使废气发生裂解和分化，改变物质分子结构，将高分子污染物质裂解、氧化成为低分子无害物质，如水和二氧化碳等。紫外线照射下产生的臭氧是一种强氧化剂能进一步将未完全反应的废气进一步进行氧化。光氧催化设备内部都安设了二氧化钛催化板，催化板具有加强废气处理的效果和效率。
未被UV光氧催化设备完全分解的废气再进入活性炭吸附箱内部，众所周知活性炭具有很强的吸附能力，能将有机废气牢牢的吸附在活性炭表面。由于活性炭表面存在着未平衡和未饱和的分子引力或化学键力，因此活性炭与气体接触时，就能吸引气体分子，使其浓聚并保持在固体表面，废气中的污染物被吸附在固体表面上，使其与气体混合物分离，达到净化目的。活性炭吸附箱采用蜂窝状的活性炭，具有较大的比表面积，废气吸附效果好，而且还具有较好的通透性。