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1. 洁净室规划与设计：确定洁净室的布局、功能要求、洁净等级等，进行详细的设计。
2. 基础工程：包括场地清理、地面处理（如平整、做地坪等）。
3. 结构施工：搭建洁净室的主体结构，如墙板、顶板安装等。
4. 空调与通风系统安装：安装空调机组、风管、风口等，确保良好的空气循环和净化能力。
5. 电气系统布线：铺设电线、安装插座、开关等电气设施。
6. 管道安装：如给水管、排水管等的铺设。
7. 照明系统安装：安装洁净室专用照明灯具。
8. 墙板与顶板的密封处理：保证洁净室的气密性。
9. 洁净室地面工程：如铺设特殊的洁净地板等。
10. 洁净设备安装：如FFU（风机过滤单元）、空气过滤器等。
11. 测试与调试：对空调、通风、洁净度等各项指标进行测试和调试，确保符合要求。
12. 收尾工作：清理施工现场、进行细节完善等。
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