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洁净度：通过尘埃粒子计数器等检测仪器，确认空气中悬浮粒子浓度符合设计要求的洁净等级。
压差：不同洁净区域之间的压差应稳定且符合规定值。
气流组织：如层流区气流应均匀、稳定，乱流区气流方向应合理。
温湿度：实际测量值应在规定范围内。
照度：洁净厂房内各区域的照明强度应满足工作需求。
噪声：噪声水平不能超出规定限度。
换气次数：换气次数应符合设计要求。
密封性能：建筑结构和设备的密封良好，无明显漏风。
设备性能：净化设备、空调系统等运行正常，各项参数达标。
表面清洁度：墙壁、地面、设备表面等洁净无污渍。
静电消除：静电消除措施有效。
消防设施：消防设施齐全且能正常工作。
文件资料：施工过程中的相关文件、检测报告等齐全、准确。