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洁净度检测：通过专业的检测仪器和方法，测量空气中悬浮粒子的数量是否达到设计要求的洁净级别标准。
压差测试：各区域之间的压差应符合设计规定，以确保气流方向正确。
温湿度测量：实际的温湿度应在规定范围内，满足生产和工艺需求。
气流流型检测：如层流洁净室洁净厂房，要检查气流是否呈层流状态。
噪声检测：洁净厂房内的噪声水平不能过高，以免影响工作环境。
照度检测：照明强度应满足工作需要。
密封性能检查：洁净厂房的墙壁、门窗等的密封要良好，无明显漏风处。
净化洁净设备运行检查：净化设备、空调系统等运行正常，无异常噪音、振动等。
表面清洁度：洁净室洁净厂房内的各种表面应洁净、无灰尘等污染物。
人员操作规范：观察工作人员的操作是否符合洁净室洁净厂房的管理规定。